眾為興半導(dǎo)體晶圓機(jī)器人,基于20余年的機(jī)器人運(yùn)動(dòng)控制及本體應(yīng)用積累自主研發(fā),實(shí)現(xiàn)高效、高精度在EFEM、Stocker、爐管、濕法、涂膠顯影、薄膜等各類半導(dǎo)體設(shè)備的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境或者真空環(huán)境中搬運(yùn)晶圓,已成為國(guó)產(chǎn)替代設(shè)備首選。
EFEM
爐管
涂膠顯影
薄膜
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